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我國首條光刻用石英玻璃基板成套生產線建成
2016/6/12 0:00:00來源: 中國建筑材料科學研究總院

  近日,中國建材總院石英院基于光刻用石英玻璃基板綠色制造技術,在衢州建立了國內首條從基板原材料制造到產品加工的成套生產線。該生產線可年產20000片4-6英寸石英玻璃基板,打破了石英玻璃基板原材料及產品長期依賴進口的局面。

       該生產線的建立,是中國建材總院承擔的“十二五”國家科技支撐計劃“高性能石英玻璃、微晶玻璃等特種材料關鍵技術研發及示范”課題的成果之一。石英玻璃基板是集成電路芯片制造工藝中的核心器件,市場需求量巨大。作為石英玻璃基板的原材料,合成石英玻璃具有熱穩定性好、光學均勻性高、耐輻照等諸多優點。然而,受原材料純度、均勻性及加工精度、硬脆特性等制約,我國石英玻璃基板長期依賴進口。

 

  作為我國唯一專業從事石英玻璃研究的科研院所,中國建材總院石英院依托浙江衢州高新園區的化工資源,形成了循環經濟產業鏈,建立了高性能石英玻璃研發基地,并成立中建材衢州金格蘭石英有限公司。經科研人員不懈努力,形成一套符合我國行業現狀與發展趨勢的獨有工藝路線,不但解決了石英玻璃基板原材料的純度、均勻性難題,同時實現了原材料綠色制造。石英院還引入多刀切割、安全快速磨拋工藝,創造性地開發了熔拉制坯、數控倒角等技術,解決了石英玻璃基板加工精度的難題。從基板原材料制造到產品加工,石英院形成專利20余項,行業標準、國軍標及國家標準10余項,開發出了多種規格的石英玻璃基板、晶圓、透鏡等系列產品,不僅逐步替代進口,實現了集成電路等用高性能石英玻璃關鍵材料及制品的國產化,而且出口歐洲、日本等國。

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